半導体製造ライン向けIPA除去装置の開発について
IPA除去と聞いて、組み込み？！で何で？！と思った人ですｗ
株式会社東芝（以下「東芝」）と大日本スクリーン製造株式会社（以下「大日本スクリーン」）は、半導体製造ラインの洗浄工程で、ウエーハ洗浄装置から揮発により大気中に放出されるIPA（イソプロピルアルコール）を約75％除去する装置を共同開発しました。本装置については、東芝の四日市工場と大分工場で導入を予定しています。
株式会社東芝（以下「東芝」）と大日本スクリーン製造株式会社（以下「大日本スクリーン」）は、半導体製造ラインの洗浄工程で、ウエーハ洗浄装置から揮発により大気中に放出されるIPA（イソプロピルアルコール）を約75％除去する装置を共同開発しました。本装置については、東芝の四日市工場と大分工場で導入を予定しています。